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氦质谱检漏仪原理、参数、优点

变宝网08月17日讯

氦质谱检漏仪原理本文会详述,氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。

一、氦质谱检漏仪技术参数

最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s

漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

启动时间:≤5min

响应时间:<2S

检漏口最高压力:300Pa

极限真空:5×10-4Pa

外形尺寸:560(W)×420(D)×300(H)

:46KG

氦质谱检漏仪原理、参数、优点

二、氦质谱检漏仪优点

1.采用便携式设计

2.设备外型美观小巧

3.采用液晶触摸屏设计

4.有通讯接口

5.可以方便地将检漏数据输出

三、氦质谱检漏仪配置

1.检漏仪专用分子泵

2.机械泵或者干泵

3.定制检漏仪专用电磁阀

4.内置标准漏口

5.放大器

6.采用质谱专用模块

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