氦质谱检漏仪原理、参数、优点

变宝网08月17日讯

氦质谱检漏仪原理本文会详述，氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。

一、氦质谱检漏仪技术参数

最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s

漏率显示范围：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s

启动时间：≤5min

响应时间：<2S

检漏口最高压力：300Pa

极限真空：5×10-4Pa

外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）

重：46KG

二、氦质谱检漏仪优点

1.采用便携式设计

2.设备外型美观小巧

3.采用液晶触摸屏设计

4.有通讯接口

5.可以方便地将检漏数据输出

三、氦质谱检漏仪配置

1.检漏仪专用分子泵

2.机械泵或者干泵

3.定制检漏仪专用电磁阀

4.内置标准漏口

5.放大器

6.采用质谱专用模块

更多氦质谱检漏仪的相关资讯，请持续关注变宝网资讯中心。