变宝网08月17日讯
氦质谱检漏仪原理本文会详述,氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。
一、氦质谱检漏仪技术参数
最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s
漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s
启动时间:≤5min
响应时间:<2S
检漏口最高压力:300Pa
极限真空:5×10-4Pa
外形尺寸:560(W)×420(D)×300(H)
重:46KG
二、氦质谱检漏仪优点
1.采用便携式设计
2.设备外型美观小巧
3.采用液晶触摸屏设计
4.有通讯接口
5.可以方便地将检漏数据输出
三、氦质谱检漏仪配置
1.检漏仪专用分子泵
2.机械泵或者干泵
3.定制检漏仪专用电磁阀
4.内置标准漏口
5.放大器
6.采用质谱专用模块
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