单晶炉是什么？

变宝网09月25日讯

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。下面小编带大家去了解下单晶炉。

一、单晶炉购买技术主要要求

1.单晶炉装料（单台机产能多少）2.能拉多长、几寸的硅棒3.拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含、位错密度）5设备制造工艺控制保证6自动化控制程度7设备主要关键部件的配置等。

二、单晶炉型号定义

单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料来决定的。

三、单晶炉主要需要控制的方面

1、晶体直径（尺寸）

2、温度（功率控制）

3、原料（硅料）

4、泄漏率，氩气质等

四、单晶炉热场的设计与仿真

单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期，一定要根据生长设备，配置出最合理的热场，从而保证生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中，实验与数仿真是相辅相成的，其过程可以分为两个部分：

（1）在第一阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数模拟参数的调整。

（2）在第二阶段,利用数模拟是用来确定最佳的晶体生长工艺参数。

数仿真是用来获得廉的，完整的和全面细节的结晶过程，以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。数模拟是当实验的费用太昂贵或无法常规进行时一种非常有用或必不可少的方法。举例来说，对于无经验人员，可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径，质要求的最好办法。面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算，优化设计单晶炉的机械结构，在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线，就可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶棒。

更多单晶炉相关资讯，请持续关注变宝网资讯中心。